真空鍍膜機系統的虛漏及漏孔堵塞

2018-06-08  來自: 東莞市興族(納米科技)實業有限公司 浏覽次數:176

  真空鍍膜機系統的虛漏及漏孔堵塞

  真空器件和真空容器達不到預期真空度的原因,除了漏氣之外,還可以是由于材料出氣或者虛漏的原因。虛漏是由于設計或制造加工工藝不當,在系統內形成貯存氣源的洞穴,這些氣體在真這環境下慢慢釋放出來,形同漏氣,幫稱虛漏。例如,真空系統內的緊固螺釘沒有出氣孔,焊縫交叉設計,焊接不完善留有孔穴等都會造成虛漏現象,真空系統中的冷阱若使用不當也會産生虛漏。對于超高真空系統來說,殘余氣體中的二氧化碳可能冷凝在液氮冷阱上成霜,這也是一個虛漏氣源。

  漏孔地堵塞現象

  超高真空系統容器、電真空器件的漏孔往往是直徑在微米數量級的小漏孔,空氣中的塵埃或液體都很容易造成漏孔的堵塞,這些考完常常是暫時性的,檢漏時好像不漏,但經過抽氣之後,又會出現漏氣。爲了檢查,一定要仔細處理好檢漏部位,盡量不用手去摸被檢測區域,避免塵埃或油脂堵塞漏孔。

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