分析鍍膜機的選購要點

2018-05-16  來自: 東莞市興族(納米科技)實業有限公司 浏覽次數:175

  分析鍍膜機的選購要點

  鍍膜機是一种常用的鍍膜機商品类型,首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜,详细包含许多品种,包含真空离子蒸腾,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射堆积等许多种。

  1、充氣方式可選用質量流量計、浮子流量計+針閥及相應的充氣閥門,並可選擇多路充氣管路及相應流量參數。

  2、根據工藝要求選擇鍍制方式及形式,真空測量可選擇數字式智能真空計及其優質的測量規管,及其它測量儀器。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀,透過率計等。

  3、根據設備使用特點,可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

  4、根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質以及所需配備相應儀表測量。

  5、完善的報警系統,對真空室體、缺水、擴散泵斷相、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

  6、真空系統由機械泵、擴散泵、增擴泵、油增壓泵、羅茨泵、埚輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

  7、根據工藝要求選擇不同規格及類型的鍍膜設備,其類型有電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、磁控反應濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

  8、爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結構。

  9、夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根據基片尺寸及形狀提出相應要求,轉動的速度範圍及轉動精度:普通可調及變頻調速等。

關鍵詞: 鍍膜機           

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